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真空設(shè)備中常用的質(zhì)量流量控制器

所屬分類:行業(yè)資訊    發(fā)布時(shí)間: 2025-07-10    作者:admin
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     質(zhì)量流量控制器的應(yīng)用非常廣泛,用于實(shí)驗(yàn)室各種研究及實(shí)驗(yàn),也被分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,光纖熔煉,微反應(yīng)裝置,混氣配氣系統(tǒng),毛細(xì)管測(cè)量氣相色譜儀,光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中以及真空設(shè)備,如真空鍍膜、冶金、化工、電子封裝等。在真空環(huán)境中進(jìn)行的各種應(yīng)用。

    質(zhì)量流量控制器的主要作用是對(duì)氣體或液體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。這種控制器通過自動(dòng)調(diào)整閥門開度來穩(wěn)定和調(diào)節(jié)流體的流速和流量,..流量維持在用戶設(shè)定的范圍內(nèi)。在真空設(shè)備中,在應(yīng)過程中控制氣體的流量,..反應(yīng)效果穩(wěn)定和...。質(zhì)量流量控制器還具有自動(dòng)化操作、流量保護(hù)、數(shù)據(jù)采集和記錄等功能,能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)和控制流體的流量,..其在設(shè)定的范圍內(nèi),同時(shí),許多控制器還具有自我診斷功能,有助于及時(shí)發(fā)現(xiàn)和解決潛在問題。

    LF系列質(zhì)量流量控制器采用熱式原理、氣體的質(zhì)量流量不受環(huán)境溫度及壓力的變化而變化。管狀分流原理,便于更改量程,安裝簡(jiǎn)易。良好的傳感器封裝,減少外部溫度變化的敏感性。測(cè)量和控制的量程范圍大,.大滿量程可達(dá)30ln/min。預(yù)熱時(shí)間短、零飄小、測(cè)量和控制精度高。可通過二次儀表或者PLC與儀表進(jìn)行通訊,操作簡(jiǎn)單。以提高質(zhì)量和生產(chǎn)效率。