下面就跟著小編一起了解質(zhì)量流量控制器吧~

1.什么是質(zhì)量流量計(jì)？什么是質(zhì)量流量控制器？

大家可能會(huì)經(jīng)?？吹?，有些地方說質(zhì)量流量計(jì)，有些地方說質(zhì)量流量控制器。其實(shí)，這是有區(qū)別的。

質(zhì)量流量計(jì)，即Mass Flow Meter（MFM ）， 是一種..測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn)，不需要溫度壓力補(bǔ)償。

質(zhì)量流量控制器， 即Mass Flow Controller （MFC ），不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能，更重要的是，它能自動(dòng)控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化，也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。質(zhì)量流量控制器就是一個(gè)穩(wěn)流裝置，是一個(gè)可以手動(dòng)設(shè)定或與計(jì)算機(jī)聯(lián)接自動(dòng)控制的氣體穩(wěn)流裝置。

簡單來說，質(zhì)量流量計(jì)只測量不控制。而質(zhì)量流量控制器，則帶有控制閥門，既可以測量也可以控制氣體流量大小。

2.怎么理解質(zhì)量流量計(jì) / 質(zhì)量流量控制器的流量單位？

氣體質(zhì)量流量單位一般以SCCM（Standard Cubic Centimeter per Minute，每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升）和SLM（Standard Liter per Minute，每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升）來表示。這意味著，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量。這是這種儀表和其它流量計(jì)的重要區(qū)別，也是SCCM﹑SLM 不同于mL/min﹑L/min 之處。

對多數(shù)用戶而言，體積流量的表示方法很符合習(xí)慣﹑便于使用，但也有用戶需要知道單位 時(shí)間內(nèi)流過介質(zhì)的質(zhì)量（如g/min），這個(gè)要求是很容易實(shí)現(xiàn)的。因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體密度是一個(gè)常數(shù)，可以方便地查到，因而簡單地做一個(gè)乘法（以密度乘以若干SLM）即可實(shí)現(xiàn)。所以說，在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。

質(zhì)量流量控制器內(nèi)容不多，但是小編希望能對各位有所幫助。